測試實驗室執行化學試藥氣體分析之技術性補充要求(TAF-CNLA-J31)
隨著半導體產業要求化學氣體試藥的製造廠商，需提供高純度品質的產品，以符合其生產製程的品質要求及主管機關修定相關法規，要求監測單位或實驗室應運用前述物質追溯性於所執行檢測或查驗，以展現其於監控環境中空氣污染源監測結果的正確性。基於前述需求與法規要求，促使愈來愈多化學氣體試藥製造廠商更願意投入營運成本於建立符合ISO/IEC 17025國際標準的實驗室，以確保自家製造與生產的化學氣體試藥產品，可滿足顧客及符合主管權責機關運用要求。
本會化學試藥之氣體分析技術認證測試實驗室，共計9家，其認證範圍多以氣體濃度與不純物的分析為主體。本會為能促進此類型實驗室於對應物質的氣體分析作業，更能符合ISO/IEC 17025:2017及提昇實驗室技術管理的能力，於2022年完成「測試實驗室執行化學試藥氣體分析之技術性補充要求 TAF-CNLA-J31(1)」並於2022年10月28日公告，以協助欲申請或已認證化學試藥氣體分析實驗室運用此文件。
本文件內容針對量測結果的計量追溯、試驗方法要求、確保結果的效力及結果的報告對應ISO/IEC 17025:2017的符合性增加補充說明，摘要如下：
- 量測結果的計量追溯：
1.實驗室可依標準件屬性，選擇以校正、使用參考物質等方式於滿足計量追溯要求。同時，如使用校正於計量追溯達成，實驗室應運用具能力的參考物質生產機構所提供之驗證參考物質執行中間查核並明訂其查核頻率。
2.當標準件平衡氣體(balance Gas)組成與實驗室實際檢測的測試件組成未相同時，實驗室應有證據顯示，測試方法與分析儀器對於平衡氣體差異之感應值(response)未有影響。
- 試驗方法
1.當使用非標準方法，(如自行開發或標準方法修改、擴充)時，實驗室可依自身需求，選擇ISO 6143、ISO 12963或ISO 19229於方法確證。
2.無論採行單點或雙點於標準氣體濃度校正，亦或採行多點之不同標準氣體濃度建立檢量線，皆應選擇可滿足且涵蓋測試件之標準氣體濃度範圍。
3.實驗室應有紀錄展現於標準氣體濃度稀釋過程所使用的稀釋裝置可符合試驗方法所預期之準確度。
4.實驗室應有程序於相關測試活動之監控與管制，並留有試驗環境溫度與氣體鋼瓶溫度變化於測試結果影響的紀錄。
- 確保結果的效力
無論使用標準方法、非標準方法於氣體分析試驗，實驗室應有程序以說明確保結果效力。如方法已載明品質保證作業，實驗室應依方法內容執行；如方法未明訂或使用非標準方法，實驗室可依風險的偵測，建立適當的品質保證方案。
- 結果的報告
1.實驗室對於測試結果報告於量測單位表達，應滿足本會「申請認證量測範圍與單位的表達原則(TAF-CNLA-A21)」。
2.實驗室無論出具正式或簡化報告，報告內容應準確、清楚、客觀及不混淆並應確保於測試報告之樣品描述與識別，不會讓報告使用者產生誤解。
3.於部分資訊來自顧客或由顧客所提供的樣品，應於結果報告內加以描述及識別，並清楚明確識別認證範圍與非認證範圍之量測結果。
本文「測試實驗室執行化學試藥氣體分析之技術性補充要求 TAF-CNLA-J31(1)」已公告，並於2023年1月1日為實施要求。本會為協助相關實驗室於此文件運用可更為清楚，已於2022年12月9日辦理「測試領域氣體分析實驗室之補充要求座談會」。同時本文件於實施後，本會將持續蒐集相關實驗室於符合本文件的情境與案例，以持續精進相關實驗室於展現運用本文件的技術能力。
